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第307章 追光三期EUV整
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第307章 追光三期EUV整机装配完成

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    一整排顶部冷白工作灯从数十米高的桁架顶端垂落下来,把那台被多层围挡与气密隔区包裹的庞然设备照得纤毫毕现。不同于终端产线那种高速流转丶节拍鲜明的忙碌,这里的时间像被人为压慢了。没有人高声说话,没有人随意走动,连工具车在导轨上滑行时都被包上了消音层,只剩极细微的滚轮摩擦声在偌大的空间里缓慢回响。
    主控屏右上方,状态条一直停在同一句话上:
    追光三期·整机总装进入最终闭环校准阶段
    而现在,这句话下面又多出一行刚刚刷新的黄色提示:
    高能段联调确认完成,等待总指挥权限确认
    林薇站在气密门内,没有第一时间往前走。
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    她先看的是整张图。
    不是屏幕上的参数图,而是设备本体。
    那是一种只有真正长期做过整机秩序的人才会有的本能。先看整体呼吸感,再看局部数据。先看这台设备像不像一个能真正「活起来」的整体,再去判断它究竟还剩哪根神经末梢没有接好。
    追光三期比一代丶二代都更大,也更安静。
    安静得甚至不像一台处在最终总装阶段的极限设备,反而像一头趴伏在冷白光下丶尚未完全睁眼的巨兽。高精度主腔丶光源接口丶振动隔离底座丶真空通路丶控制柜阵列丶流体冷却总成丶检测反馈系统,被压在同一套秩序里,没有一处多余外露,也没有一处显得仓促补丁化。
    可正因为它看起来太像一个整体,林薇才更清楚,最危险的问题往往就藏在最后那一层「看起来已经完整」的平静里。
    总装负责人快步走到她身边,把权限板递过来,声音压得很低。
    「主腔体机械闭环已经完成,隔振底座和主控耦合也完成了,主光路静态对位误差压到目标窗口内。刚才那轮高能段联调,整体波动比二期末段好。」
    林薇接过权限板,没有立刻点确认,只问了一句:「哪个参数不对劲?」
    负责人顿了一下。
    「不是明显越线。」他说,「是寿命模型回归曲线有一段不够好看。」
    旁边几名负责分区联调的骨干没接话,但表情都明显紧了一丝。
    林薇却没有追着这件事立刻问下去,只点了点头:「先把今天该完成的完成。」
    这就是她的风格。
    在最关键的整机节点上,不会因为一个尚未坐实的问题,让全队的节奏先乱掉。但她既然听见了,就不会真把那句「不够好看」当成一句可以轻轻放过的工程抱怨。
    她迈步往总控台走去。
    沿途,装配区内所有人都自动让开一条线,没有人刻意看她,却几乎所有视线都在余光里追着她的方向。因为谁都知道,今天不是普通节点,甚至不是普通意义上的「设备总装完成」。
    追光三期如果真的走到整机装配完成,就意味着未来科技在EUV设备这条最硬丶最深丶最容易被旧秩序永远卡死的骨线上,再往前迈了一大步。它未必意味着明天就
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