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深度清洗后的国产高纯矽片试产线重新启动。巨大的白色机箱发出低沉的嗡鸣,监控屏幕上数据流开始滚动:温度22.1℃,湿度39%,超纯水电阻率18.2兆欧·厘米,铜离子浓度0.03ppt,低于警戒值两个数量级。
张京京站在中央控制台前,双手抱胸,紧盯着十二块分屏上的实时参数。他身后的工程师团队鸦雀无声,所有人都知道这次重启的意义:如果清洗成功,意味着他们掌握了应对铜污染的关键技术,国产矽片的量产之路就迈过了最危险的坎;如果失败……
「第一批矽片开始清洗工序。」操作员报告,声音在寂静的控制室里显得格外清晰。
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屏幕上,机械臂将三片十二英寸的测试用矽片送入清洗槽。超纯水以精确控制的流速冲刷着矽片表面,超声波发生器启动,发出人耳听不见的高频振动。
「清洗液流量稳定,超声功率正常,温控在设定值±0.1℃范围内。」
张京京的目光锁定在铜离子监测曲线上。那条绿色的线平稳得近乎完美,在0.02到0.04ppt之间轻微波动,这是环境本底水平,说明系统是乾净的。
清洗持续了十五分钟。按照吴文山提供的方案,这是第一步「螯合剂冲洗」的时间。
「清洗结束,开始纯水漂洗。」
矽片被转移到漂洗槽,更高纯度的水流洗去残留的化学药剂。这是最危险的环节:如果系统里还有铜污染源,漂洗过程会将其暴露无遗。
时间一秒一秒过去。
控制室里只有设备运行的嗡鸣和偶尔的按键声。
「漂洗三分钟,铜离子浓度0.05ppt。」
「漂洗五分钟,铜离子浓度0.07ppt。」
「漂洗七分钟,铜离子浓度0.11ppt。」
数据在缓慢上升,但仍在安全范围内。张京京微微松了口气。按照经验,如果有污染,前五分钟就会急剧飙升。
「漂洗十分钟,完成。矽片传送至乾燥区。」
机械臂平稳地将矽片送出,送入氮气乾燥舱。整个过程看起来无懈可击。
「取样检测。」张京京下令。
三片矽片中的一片被送入旁边的快速分析室。三十秒后,初步结果在大屏上弹出:
**表面金属污染扫描结果**
-**铁:<0.01ppt**
-**镍:<0.01ppt**
-**铜:0.09ppt**
「低于0.1ppt!」控制室里爆发出压抑的欢呼。这个数值意味着矽片表面的铜污染已经控制在工艺允许范围内,可以进行后续的氧化丶光刻等工序了。
张京京紧绷的肩膀终于放松下来。他拿起加密电话,准备向陈醒和林薇报喜。
但就在他的手指即将触到拨号键时,刺耳的警报声突然撕裂了控制室的平静。
不是一声,是接连三声。
「警报!超纯水储罐B-3铜离子浓度异常!」