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第一天,系统部署
六块大屏幕实时显示着「洁净室数字孪生系统」的运行状态:左侧是三维流场预测图,红黄绿三色区域不断变化;中间是晶圆传输路径的实时监控,十二个关键节点闪烁着小芯AI的风险评估标签;右侧则是系统日志,一行行文字快速滚动。
张京京站在控制台前,眼睛布满血丝,却闪着光。他手里握着最新一批晶圆的流片计划表,这是系统上线后的第一份生产计划,经过了AI的严格风险评估。
「首批二十四片,分为三组。」他对着通讯器说,声音在寂静的控制室里格外清晰,「第一组八片,安排在上午九点到十一点,这是传统的高风险时段,我们要测试系统在最恶劣条件下的防护能力;第二组八片,安排在下午两点到四点,同样是高风险时段;第三组八片,安排在晚上十点到凌晨两点,这是传统意义上的低风险时段,作为对照组。」
林薇的声音从扬声器传来:「系统预测显示,今天上午九点二十三分,3号刻蚀机上方会形成粒子驻留区,持续时间约十八分钟。我们建议第一组晶圆在九点四十分之后再进入该区域,或者开启主动防护。」
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「选择开启主动防护。」张京京做出决定,「我们要测试系统在污染高峰期的真实拦截能力。」
「明白。启动3号区域微型过滤阵列,功率调至70%;调整天花板C区气流角度,形成向下气幕;同时建议将晶圆传输速度降低15%,减少扰动。」林薇快速下达指令。
屏幕上,代表防护措施的图标一个个亮起绿色。监控数据显示,3号区域的实时粒子浓度开始下降,从每立方厘米82个降到31个。
上午九点二十三分,预测的粒子聚集准时出现,但在多重防护下,经过该区域的晶圆表面监测到的粒子沉积数,比未防护的历史同期降低了73%。
第一组晶圆顺利通过所有关键工序。
第三天,初步数据
下午两点,中央研究院的数据分析中心,三十多位工程师围在大屏前。
屏幕上显示着系统上线前三天的流片数据对比:
系统上线前(最后一周平均值)
每日流片量:24片
预检测筛除率:42.3%
最终电性测试良率:37.9%
随机缺陷导致的失效占比:68.2%
系统上线后(三天平均值)
每日流片量:18片(因风险评估筛除部分高风险批次)
预检测筛除率:28.7%
最终电性测试良率:39.2%
随机缺陷导致的失效占比:51.4%
「良率提升了1.3个百分点。」金秉洙博士读出关键数据,「随机缺陷占比下降了近17个百分点。这说明系统确实有效。」
「但流片量下降了25%。」梁志远指出,「因为系统筛掉了太多『高风险』批次,我们实际获得的有效实验晶圆数量反而减少了。」
「这是必要的代价。」林薇解释道,「在系统预