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第208章 小芯AI检测曝光
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第208章 小芯AI检测曝光流程漏洞

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    14nm量产线的EUV曝光区内,修复后的三号光刻机刚刚完成第二批监控片的曝光工序。机械臂平稳地将晶圆盒传送到下一站,设备状态监控屏上所有参数都显示为绿色。如果不是角落里那台被替换下来的受损镜头还罩着防尘罩,这里几乎看不出二十四小时前曾发生过重大事故。
    但在数据空间,一场看不见的攻防战正在进行。
    「镜渊」系统已经上线运行七小时。张京京站在中央控制室的大屏前,看着左右两侧对比显示的数据流。左侧是真实的环境监测数据,温度22.4℃丶湿度41.8%丶粒子计数0.3个/立方米丶电力谐波畸变率2.7%;右侧是经过混淆处理后对外传输的数据流,数字微妙地不同:温度22.3℃丶湿度42.1%丶粒子计数0.1个/立方米丶电力谐波畸变率1.9%。
    每一个差异都控制在测量误差允许范围内,但整体趋势被精心调整,呈现出一个「正在恢复但仍有轻微不稳定」的系统状态。
    「诱饵数据捕获率?」张京京问站在操作台前的章晴。
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    「过去两小时检测到三次捕获事件。」章晴调出监控日志,「时间分别是凌晨一点二十三分丶两点四十七分丶三点零五分。数据包都被发往相同的境外中转伺服器,加密协议相同。对方没有察觉到我们在注入诱饵。」
    张京京看了眼墙上的时钟:三点十七分。距离他预测的攻击窗口还有四十三分钟到两小时四十三分钟。
    「启动二级戒备。」他下达指令,「所有关键设备切换到双重监控模式。金博士那边怎麽样了?」
    梁志远从旁边的通讯台抬起头:「金工报告,『追光二期』EUV光源已经进入特别防护状态,主动电磁屏蔽层全功率运行。他的团队监测到轻微的电磁背景噪声,但强度远低于触发阈值。」
    「通知赵静博士,」张京京转向另一名工程师,「请『小芯』平台进入实时战备分析模式。我们需要它对所有工艺数据进行异常模式扫描,尤其是曝光流程相关数据。」
    命令在加密网络中快速传递。三分钟后,控制室的大屏一角亮起「小芯AI平台在线」的标志。一个柔和的女声通过扬声器传出:
    「张博士,我是小芯。已接入制造执行系统,获取过去二十四小时全流程工艺数据。当前正在执行多维度异常检测,预计五分钟后完成初步分析。」
    张京京微微点头。他相信赵静团队开发的这个AI平台,在智能汽车和医疗诊断领域的出色表现已经证明了它的能力。现在,是时候测试它在晶片制造这种极端精密场景下的表现了。
    时间一分一秒流逝。控制室里只有设备运行的嗡鸣声和偶尔的键盘敲击声。十几名工程师各司其职,监控着不同系统的状态。
    凌晨三点三十八分。
    EUV曝光区四号机台的操作员报告:「第二批次监控片曝光完成,正在传送至量测站进行线宽检测。」
    按照流程,
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