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赵建国盯着监控屏幕上跳动的数据，眼皮沉重得像灌了铅。他已经连续四十八小时没离开厂房，胡茬在下巴上冒出青灰色，深蓝色工装的领口被汗水浸出一道深色痕迹。
屏幕上显示的是2号光刻机的实时数据。这台从荷兰进口的深紫外光刻机是产线的核心设备，价值一点二亿美元，占据了整条生产线成本的近四分之一。过去七十二小时，它一直处于异常状态，晶圆的对准精度在持续缓慢漂移，最严重时偏移达到了15纳米，超过了工艺允许的8纳米上限。
「还是找不出原因吗？」陈醒走进控制室，手里端着两杯咖啡，将其中一杯递给赵建国。
赵建国接过咖啡猛灌一口，苦涩的液体让他精神稍微一振：「设备厂商的远程支持团队排查了四个小时，说是环境振动超标。但我们测了厂房的地基振动，数据完全在允许范围内。」
他调出振动监测记录：「您看，过去一周，厂房最大振动幅度只有0.8微米，远低于设备要求的2微米上限。而且其他三台光刻机都运行正常，只有这台2号机出问题。」
陈醒仔细查看数据。确实如赵建国所说，振动监测曲线平稳得近乎一条直线。厂房在设计时就考虑了防振要求，地基采用了三层减震结构，能够隔绝外部交通和施工带来的微幅振动。
「会不会是设备本身的问题？」陈醒问。
「设备厂商不承认。」赵建国苦笑，「他们说如果设备有问题，不可能只有对准精度漂移这一个症状，其他参数都应该异常。但我们的数据是，这台机器的曝光能量稳定性丶聚焦精度丶扫描同步性都完全正常，只有对准在缓慢漂移。」
陈醒沉思片刻：「让孙明过来一趟。」
十分钟后，孙明小跑着进了控制室，手里还拿着一个平板电脑，屏幕上显示着复杂的电路图。
「陈总，您找我？我正和时钟团队调试量产测试程序……」
「先放一放。」陈醒打断他，「2号光刻机的对准漂移问题，我想听听你的看法。」
孙明愣了一下，显然没想到会问他这个问题。他是电路设计专家，不是设备工程师。但他还是走到监控屏前，仔细查看数据曲线。
看了一分多钟，孙明突然问：「对准系统的控制环路参数能调出来吗？」
赵建国操作了几下，调出另一个界面。屏幕上显示着对准伺服系统的控制参数：比例增益丶积分时间丶微分系数……
孙明盯着这些参数看了许久，手指在平板上快速计算着什麽。三分钟后，他抬起头：「这些参数是设备出厂时的默认设置？」
「对，从来没改过。」赵建国回答，「设备厂商严禁用户调整控制参数。」
「但你们的环境和其他用户不一样。」孙明说，「你们的厂房防振做得太好，系统的本底噪声水平可能比标准环境低一个数量级。在噪声极低的情况下，默认的控制参数可能会引发超调振荡，虽然幅度很小，但会表现为缓慢的漂移。」
他调出自己刚刚的计算结果：「我粗略算了一下，如果环境振动噪声低于某个阈值，控