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第203章 追光二期光源长稳
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第203章 追光二期光源长稳测试

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    巨大的双层隔离观察窗外,金秉洙博士的眼睛布满血丝,盯着主控屏幕上那条缓慢但持续下滑的曲线,EUV输出功率稳定度:96.3%,距离昨夜梁志远报告时的96.7%又跌了0.4个百分点,而且没有止跌迹象。
    实验室内部,真空泵组的低吼声中,技术人员正在执行紧急在线清洗程序。十二个清洗喷头从机械臂上精准伸出,向EUV光源核心光学腔体内喷射特制的高纯度氩气-氦混合等离子流。这是金秉洙团队设计的「非接触式镜面清洁技术」,理论上可以在不停机情况下清除镜面上纳米级污染物。
    「清洁流压力提升至额定值110%。」一名年轻工程师的声音在通讯频道里响起,带着明显的紧张,「等离子体密度达到标准,开始计时。」
    「所有光学传感器数据同步记录。」金秉洙的声音嘶哑,「特别注意第二反射镜组后的光强分布变化。」
    屏幕上,数十个监测点的数据开始跳动。最初五分钟,EUV输出功率稳定度出现了微弱的回升迹象,从96.3%缓慢爬升至96.5%。实验室里有人轻轻松了口气。
    但金秉洙的眉头皱得更紧了。他太了解这台耗费了五年心血的「追光二期」原型机了,如果问题真的只是镜面污染,在线清洗后的恢复曲线应该是陡峭的,而不是这种有气无力的爬升。
    果然,在清洗程序进行到第八分钟时,异变陡生。
    「警报!第四雷射束同步偏差超限!」主控系统冰冷的电子音骤然响起,「警告:锡滴击中率下降至87%!」
    屏幕上,代表十六道子雷射束同步状态的波形图突然紊乱,其中第四束光的相位明显落后于其他光束。更致命的是,锡滴喷射系统监控画面显示,原本应该被雷射精准击中的液态锡微滴,有超过13%偏离了预定轨道,未能被完全汽化形成等离子体。
    「停止清洗!立即停止!」金秉洙几乎是对着麦克风吼出来,「切换到手动模式,保留第七到第十二束雷射,关闭其馀光束!」
    操作员的手指在控制台上飞舞。但就在切换指令发出后的0.3秒内,主监控屏上爆出一片刺眼的红色警报。
    「腔体压力异常上升!真空度从10^-7帕跌落至10^-5帕!」
    「锡滴收集器温度飙升,超过安全阈值!」
    「紧急停机程序启动!所有雷射器安全闭锁!」
    巨大的嗡鸣声骤然停止,实验室陷入一种令人心悸的寂静。只有冷却系统还在运转,发出低沉的丶仿佛叹息般的声音。
    金秉洙一拳砸在控制台上,不锈钢台面发出沉闷的回响。他身后的团队成员们脸色苍白,这次紧急停机,意味着至少需要48小时来重启系统丶排查故障丶重新校准。而按照「深红路线图」的时间表,「追光二期」必须在两周内完成连续168小时的长稳测试,才能为14nmEUV工艺验证提供可靠的光源保障。
    「金博士。」一个冷静的声音从身后传来。
    金秉洙猛地回头,看到陈醒不知何时已经站在观察窗前。他穿着简单的黑色工装,
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