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第226章 合城万千工程师的
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第226章 合城万千工程师的深夜灯火

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    这座以科教闻名的城市正在褪去白天的喧嚣,但在几个特殊的区域,灯火依然通明。中科大的微纳加工实验室丶合工大的精密机械研究所丶几家半导体设备初创公司的研发中心丶还有未来科技在当地的联合创新基地,上百栋建筑的窗口亮着光,像散落在城市里的星辰。
    在中科大西区的一栋实验楼里,李卫国教授摘下老花镜,揉了揉发酸的眼角。他面前的屏幕上,是一个复杂的三维模型:晶圆盒的密封接口结构。旁边开着七个文档窗口,分别是材料力学分析丶热膨胀系数匹配计算丶表面粗糙度模拟丶还有三篇德文专利的翻译稿。
    「李老师,第四组模拟结果出来了。」研究生小陈端着两杯速溶咖啡走进来,把其中一杯放在教授手边,「用碳化矽陶瓷和钛合金的复合结构,在-50到150摄氏度的循环测试中,泄漏率可以控制在10?12Pa·m3/s以下,满足Class0.1的要求。但热应力集中问题还是没解决,在接口拐角处,最大应力达到材料的78%屈服强度,循环一万次后可能出现微裂纹。」
    李卫国喝了口咖啡,苦味让他精神一振。他放大模型中的应力集中区,手指在数位板上快速勾勒:「把这里的圆弧半径从0.5毫米增加到0.8毫米,同时增加一层梯度过渡层。材料……用我们去年研发的金属-陶瓷梯度复合材料,从纯钛合金过渡到纯碳化矽,厚度控制在50微米内。」
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    「这需要重新设计整个模具,加工精度要求纳米级。」小陈快速记录。
    「让精密所的老王帮忙。他们那台五轴超精密铣床,定位精度不是号称达到5纳米吗?」李卫国说,「告诉他,这个项目如果能成,未来半导体设备国产化就有他一份功劳。他会感兴趣的。」
    小陈点头,正准备离开,李卫国又叫住他:「等等。把这个模型和参数打包,同步给未来科技的林总团队,还有合工大丶创新基地那几个组。我们现在是在打群架,不能各自为战。」
    「明白。」
    同一时间,合工大精密机械研究所的地下实验室里,王振华教授正戴着VR头盔和力反馈手套,操作着一台微型机械臂。在现实世界中,机械臂正在对一个直径3厘米的密封环进行表面抛光,而在VR界面里,他可以看到纳米级的三维形貌实时重建。
    「表面粗糙度Ra1.2纳米,还是不够。」他对着通讯器说,「碳化矽的理想抛光极限是Ra0.3纳米,我们需要接近这个值。调整抛光液配比,增加纳米金刚石颗粒的浓度到8%,但粒径要控制在10纳米以下,否则会划伤表面。」
    「王老师,未来科技那边发来新需求。」助理在控制台前报告,「他们希望密封接口能够在100万次插拔后,泄漏率衰减不超过10%。按照我们现有的设计,模拟显示在50万次后就会出现轻微磨损导致的泄漏率上升。」
    「100万次……」王振华摘下头盔,花白的头发被汗浸湿了几缕,「那是航天级别的耐久要求。给我看磨损模拟。」
    屏幕上显示出
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